Elektronkiire aurustusmeetod on omamoodi vaakumaurustuskate, mis kasutab elektronkiirte abil aurustusmaterjali otse kuumutamiseks vaakumi tingimustes, aurustusmaterjali aurustamiseks ja substraadile transportimiseks ning aluspinnale kondenseerumiseks õhukese kile moodustamiseks. Elektronkiirkütteseadmes asetatakse kuumutatud aine vesijahutusega tiiglisse, mis võib vältida reaktsiooni aurustusmaterjali ja tiigli seina vahel ning mõjutada kile kvaliteeti. Seadmesse saab asetada mitu tiiglit, et saavutada erinevate ainete samaaegne või eraldi aurustamine ja sadestamine. Elektronkiire aurustamisega saab aurustada mis tahes materjali.
Elektronkiire aurustamine võib aurustada kõrge sulamistemperatuuriga materjale. Võrreldes üldise takistuskütte aurustamisega on sellel suurem soojustõhusus, suurem kiire voolutihedus ja kiirem aurustumiskiirus. Erinevatest optilistest materjalidest, näiteks juhtivast klaasist, valmistatud kiled ja kiled.
Elektronkiire aurustumise omadus on see, et see ei kata või ei kata sihtmärgi kolmemõõtmelise struktuuri kahte külge ja tavaliselt ladestub ainult sihtpinnale. See on erinevus elektronkiire aurustamise ja pihustamise vahel.
Elektronkiire aurustamist kasutatakse tavaliselt pooljuhtide uurimise ja tööstuse valdkonnas. Kiirendatud elektronenergiat kasutatakse materiaalse sihtmärgi tabamiseks, mis põhjustab materiaalse sihtmärgi aurustumist ja tõusu. Lõpuks ladestati sihtmärgile.
Postitusaeg: Detsember-02-2022