Metallist pöörlev sihtmärk
Tootekirjeldus
Metallist pöörlev sihtmärk
Pihustava sihtmärgi (katoodi) ja anoodi vahele rakendatakse ortogonaalseid magnet- ja elektrivälju.Ja täitke vajalik inertgaas (tavaliselt Ar gaas) kõrgvaakumkambris.Elektrivälja toimel ioniseerub Ar gaas positiivseteks ioonideks ja elektronideks.Sihtmärgile rakendatakse teatud negatiivne kõrgepinge, magnetväli mõjutab sihtmärgi poolt emiteeritud elektrone, töögaasi ionisatsiooni tõenäosus suureneb, katoodi lähedale moodustub suure tihedusega plasma ja mõju avaldatakse Ar ioonidele. Lorentzi jõu poolt.Seejärel kiirendage sihtpinnale lendamiseks ja pommitage sihtpinda suure kiirusega, nii et sihtmärgi pihustatud aatomid järgiksid impulsi muundamise põhimõtet, lendaksid sihtpinnalt substraadile ja ladestavad suure kineetilise energiaga kile.
Sihtmaterjali kasutusmäära edasiseks parandamiseks konstrueeritakse suurema kasutusefektiivsusega pöörlev katood ning pihustuskatteks kasutatakse torukujulist sihtmaterjali.Pommitamisseadmete täiustamine nõuab sihtmärgi muutmist lameda kujuga torukujuliseks ja torukujulise pöörleva sihtmärgi kasutusmäär võib olla kuni 70%, mis suuresti lahendab lameda sihtmärgi vähese kasutamise probleemi.
| Toote nimi | Metallist pöörlev sihtmärk |
| Materjal | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
| Kuum müügi suurus | ID-133/ OD-157x 3191mm ID-133/OD-157 X 3855 mm ID-160/OD-180x1800mm Saab töödelda ka vastavalt klientide erinõuetele |
| MOQ | 3 tükki |
| pakett | Kihist puidust korpus |
Märkus: Toodame peamiselt erinevaid metallist sihtmärke, üksikasjade saamiseks võtke meiega ühendust.
Rakendus
Pihustamine on uut tüüpi füüsilise auruga katmise meetod.Võrreldes aurustamismeetodiga on sellel ilmsed eelised
mitmes aspektis.Metallist pihustussihtmärke on kasutatud paljudes valdkondades.Pöörleva sihtmärgi peamine rakendus.
■Päikesepatareid
■Arhitektuurne klaas
■Auto klaas
■Pooljuht
■Lameekraanteler jne
Tellimuse teave
Päringud ja tellimused peaksid sisaldama järgmist teavet:
☑Sihtmärgi spetsifikatsioon ID × OD × L (mm).
☑Nõutav kogus.
☑Rohkemate erivajaduste saamiseks võtke meiega ühendust.
